电泳沉积制备平行栅碳纳米管场发射阴极的研究

编号：NMJS02787

篇名：电泳沉积制备平行栅碳纳米管场发射阴极的研究

作者：张永爱； 林金阳； 吴朝兴； 郑泳； 林志贤； 郭太良；

关键词：碳纳米管； 平行栅； 场发射； 电泳； 丝网印刷；

机构： 福州大学物理与信息工程学院；

摘要： 利用磁控溅射、光刻、湿法刻蚀和电泳技术在玻璃基片上成功制备平行栅场发射阴极阵列,用光学显微镜、场发射扫描电镜和拉曼光谱观察了碳纳米管的形貌和结构,并测试所制备的平行栅碳纳米管阴极的场发射性能。光学显微镜和场发射电子显微镜测试表明,平行栅结构阴极和栅极交替地分布,同一个平面内,CNTs有选择性地沉积在平行栅结构中的阴极表面。场发射测试表明,平行栅CNTs场发射阴极的开启电压为155V,发射电流高达268μA,场发射特性完全由栅压控制;此外,其场发射特性与丝网印刷工艺制备的阴极有相似甚至更佳的性能,开启电压更低,发光均匀性更好,具有更好的发射特性。