碳纳米管压力传感器研究进展

编号：NMJS02864

篇名：碳纳米管压力传感器研究进展

作者：张锦文； 李伟；

关键词：碳纳米管； 压力传感器； 压阻特性； 场发射特性； 温敏特性；

机构： 北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室； 北京大学深圳研究生院；

摘要： 碳纳米管因其独特而优异的电学、力学、热学、化学及电子特性等在很多领域上展现应用的潜力,而近年来碳纳米管在压力传感器方面的应用成为研究热点之一。本文综述了碳纳米管压力传感器的基本原理以及研究进展,并对不同类型的碳纳米管压力传感器进行了比较。